Der Mikrosystemtechnologie kommt als Schlüsseltechnologie des 21. Jahrhunderts eine bedeutsame Rolle zu. Sie erschließt Funktionen in den Bereichen Mechanik, Fluidik, Optik, Chemie und Bioanalytik.
Mikrosysteme vereinigen auf engstem Raum mehrere Funktionen, wobei dann die funktionsbestimmenden Teile zumeist in der gleichen Größenskala der Mikroelektronik, die meist ebenfalls ein wesentlicher Bestandteil des Mikrosystems ist, liegen. Dies kommt dem Anspruch nach höheren Systemleistungen innovativer Produkte entgegen, die als Mikrosensoren, Mikroaktoren und Mikrosystemen in vielen Bereichen der modernen Technik schon heute Einzug gehalten haben und in der Zukunft eine noch stärkere Verbreitung finden werden. Die fortschreitende Miniaturisierung wird dabei auch zu einer Integration von Bereichen der Nanotechnologie führen.
Der Fachbereich "Mikrosystemtechnik und Nanotechnologie" setzt sich daher das Ziel, an der Erschließung dieser Arbeitsgebiete für Wissenschaft, Technik, Wirtschaft und in vielen Bereichen des täglichen Lebens mitzuwirken.
Dazu sollen insbesondere
die wissenschaftlichen und technischen Grundlagen verbreitert, interdisziplinäre Kooperationen angeregt, die Aus- und Weiterbildung gefördert, die Kooperation von Wissenschaft und Wirtschaft verbessert, die Schaffung geeigneter Innovationsbedingungen für einen Markterfolg der Mikrosystemtechnik unterstützt werden.
Fachtagungen und Workshops
- Mikrosystemtechnik Kongress
- GMM-Workshop Mikro-Nano-Integration
- GMM Maskentechnik Konferenz European Mask and Lithography Conference EMLC
- GMM-Tagung Energieautonome Sensorsysteme
Der Fachbereich 4 gliedert sich in die Fachausschüsse
4.1 - Grundsatzfragen der Mikrosystemtechnik und Nanotechnologie
4.2 - Mikrooptik und Photonik
4.3 - Sensorik und Sensorsysteme
4.4 - Mikroaktorik
4.5 - Maskentechnik
4.6 - Funktionelle Grenzflächen
4.7 - Mikro-Nano-Integration
4.8 - Werkstoffe und Fertigungsverfahren
4.9 - Entwurf von Mikrosystemen
