Die Fachgruppe 1.2.1 Lithografie
ermöglicht den Informations- und Erfahrungsaustausch für den Bereich Lithografie mit dem Schwerpunkt Halbleiterprozesse. Angesprochen werden dabei auch Fragestellungen zur Applikation lithografischer Anlagen, lithografiespezifischer Messtechnik und Materialien sowie der Lithografiesimulation.
Ziel ist es, ein Forum für den fachlichen Gedankenaustausch zu bieten und den Kontakt der Fachexperten aus der Wirtschaft, Wissenschaft und Forschung zu fördern.
Die Fachgruppe Lithografie wendet sich somit an Mitarbeiter der Halbleiterfertigung (inkl. der Bereiche LED und MEMS)Hersteller lithografischer Anlagen und MessgeräteHersteller von Materialien der LithografieHersteller von Lithografiesimulations- und entsprechender EDA-Software.
Kernpunkt der Aktivitäten der Fachgruppe ist die Ausrichtung eines jährlichen Workshops zu einem zuvor vereinbarten Schwerpunktthema aus den Gebieten Halbleiterprozess, Lithografieanlagen oder -materialien.
