Linda Wetzel, IWE1, RWTH Aachen
Date
| Start date | 2022-11-21 |
| End date | 2022-11-22 |
Meeting language
Venue
RWTH Aachen
Campus-Boulevard 55
52074 Aachen
Description
Themenschwerpunkte
- Mikro-Nano-Integration - vom Material zum Produkt
- Funktionale Nanostrukturen in der Sensorik
- Neuartige Materialsysteme für Nanostrukturen
- Nanostrukturen in der Photonik und in der Umweltanalytik, Biochemie, Bioanalytik, Medizin, Point of Care – Diagnostik
- Quantensensing, Quanteninformation
- Chemische und physikalische Funktionalisierung
- ALD- und ALE-Verfahren der nächsten Generation
- Grenzflächen- und Skalierungseffekte
- 1D- und 2D-Elektronik- und Sensorsysteme
- Monolithische Integration von Nanostrukturen in MEMS und Mikroelektronik
- Pre- / Above- / Post-CMOS- bzw. MEMS-Prozesse
- Selbstorganisation von Nanostrukturen
- Heterogene Systemintegration
- Nanostrukturen auf neuartigen z.B. flexiblen Substraten
- Optische und elektrische Interconnects
- Reaktive Nanoschichten und Material-Verbundsysteme
- Charakterisierung und Qualitätssicherung von integrierten Nanostrukturen
- Co-Simulation von Mikro- und Nanostrukturen
Organizer
VDE/VDI-Ges. Mikroelektronik Mikrosystem- u. Feinwerktechnik
Note
Teilnahmegebühr: (Normalpreis ab 29.10.2022, Preis in Klammern)
- Nichtmitglied - 440,00 € (490,00 €)
- Persönliches VDE-Mitglied - 390,00 € (430,00 €)
- Hochschulangehörige - 370,00 € (420,00 €)
- Vortragende - 290,00 € (290,00 €)
- Student* - 100,00 € (150,00 €)
- Studentische Mitglieder* - 80,00 € (130,00 €)
*Ermäßigung nur bei Übersendung einer Kopie des Studentenausweises/Studienbescheinigung!
